光隙法是憑借人眼觀察通過實際間隙的可見光隙量的多少來判斷間隙大小的方法。

光隙法測量是將刀口形直尺置于被測實際線上并使它與被測先緊密接觸，轉動刀口形直尺是它的位置符合最小條件，然后觀察刀口形直尺與被測線之間的最大光隙，此最大光隙即為直線度誤差。

當光隙值較大時，可以用量塊或只是塞尺測出其值，光隙值較小時，可通過與標準光隙比較來估讀出光隙量大小。還可以觀察透光顏色判斷間隙大小，若間隙大于2.5um，透光顏色為白色；間隙為1--2um時，透光顏色為紅色；間隙為1um時透光顏色為藍色；間隙小于1um時，透光顏色為紫色；間隙小于0.5um時，則不透光。