圓形平板平面度檢定分三步進(jìn)行。
圓形平板平面度檢定首先是測量，先選擇一個(gè)測量基準(zhǔn)面，用這個(gè)基面測出被測各點(diǎn)相對于這個(gè)基面的距離，這一步是獲得原始數(shù)據(jù)的過程。
圓形平板平面度檢定其次是評定，按平面度誤差值的評定原則確定評定基面的具體方位，并以此獲得被測圓形平板平面度誤差值的大小，這一步是對獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行平面度誤差值的評定。
圓形平板平面度檢定最后一步是測量不確定度評估，準(zhǔn)確度要求高的圓形平板測量，對測量結(jié)果進(jìn)行準(zhǔn)確度分析，獲得測量不確定度。